离子注入机闪耀珠海航展-凯发一触即发

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离子注入机闪耀珠海航展
来源:新闻中心
发布时间:2021年09月26日 编辑:新闻中心

  离子注入机是芯片制造中的核心关键装备。中国电科连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等核心关键技术,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,累计形成核心发明专利413项,实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展,有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。

  截止到目前,中国电科已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式凯发一触即发的解决方案。下一步,将瞄准高端,紧跟先进工艺发展,加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。

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